水路背板是一种安装在溅射靶材背面的冷却与支撑部件，内部设有精密水道结构。它通过循环冷却水及时带走靶材在溅射过程产生的热量，保持靶材与设备的温度稳定，防止热变形或开裂，从而延长靶材寿命并提高薄膜沉积过程的稳定性和一致性。

在高功率磁控溅射、连续大面积镀膜或长时间工作条件下，水路背板是不可或缺的配套组件。常用材料为高导热铜或铝合金，既能保证良好的导热性，又具备一定的机械强度和抗腐蚀性。

水路背板的优异特性

• 众诚达靶材公司拥有自主核心优势的旋转靶材帮定技术，此技术不仅铟用量少，而且靶材的帮定强度高，导电与导热性能更好，解决靶材使用过程中出现的脱靶与裂靶问题。 

• 使用这种帮定技术生产的靶材，能够满足大功率溅射的要求，我司的AZO旋转靶材承诺溅射功率>15KW/M

• 先进的帮定技术能有效降低铟的使用量，使靶材降低成本变为可能。 

• 为客户设计生产水路铜背板并提供帮定服务。