产品介绍
靶材绑定胶是一种专门用于将溅射靶材牢固粘接在背板上的特种胶粘剂,它在物理气相沉积(PVD)等工艺中扮演着关键角色。
核心优势
● 工艺友好
通常在中低温下即可固化,避免了高温对靶材性能的潜在损害,操作也相对简便
● 应力缓冲
具备一定的柔韧性,能够有效缓解靶材与背板之间因热膨胀系数差异产生的应力
● 综合性能稳定
具有良好的化学稳定性和机械稳定性,与多种基材(铝、铜、不锈钢、玻璃)附着力强,且环保无毒
应用领域
● 陶瓷及脆性靶材绑定
特别适用于ITO(氧化铟锡)、SiO₂等陶瓷靶材的绑定,这些靶材质脆,需要绑定以提供支撑和散热
● 热敏感或特殊靶材
适用于无法承受高温绑定的靶材(如部分氧化物靶材)、有机靶材或临时绑定场景
技术特性

可定制化开发
应用场景
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