产品介绍
铜镍靶材是由高纯度铜和镍在真空或保护气氛下经过精密熔炼、轧制、机加工等工序制备而成的合金靶材。通过严格控制合金比例、杂质含量和显微组织,既保留了铜优异的导电导热性能,又融入了镍的高强度和耐腐蚀特性,成为多行业常用的功能性靶材。
铜镍靶材核心优势
优异导电导热性能
高纯度铜赋予靶材低电阻率和高导热率,沉积出的薄膜在高频、高功率条件下依然具有稳定的导电性和散热能力,非常适合功率器件及大面积基板。
耐腐蚀与耐磨性强
镍元素提高了靶材和膜层的抗腐蚀、抗氧化和耐湿热性能,形成致密钝化层,有效延长膜层及器件的使用寿命。
膜层致密、附着力高
溅射出的薄膜表面光滑、颗粒细小、厚度均匀,附着力好,有助于提升成品良率和稳定性。
优良的机械性能
通常具有较高的硬度和强度,在溅射过程中能够保持靶材的稳定性和耐用性,减少因溅射产生的变形和损坏,保证溅射过程的顺利进行。
铜镍靶材的主要应用领域
半导体制造
铜镍合金靶材常用于芯片制造过程中互连线、接触电极等关键金属层的沉积。通过磁控溅射或PVD工艺在晶圆表面形成致密、导电性优异的薄膜,实现电路之间高效、稳定的电连接,满足先进制程的可靠性和性能需求。显示器行业
在液晶(LCD)和OLED等平板显示生产中,铜镍靶材是电极及薄膜晶体管金属层的重要材料。其均匀的沉积特性有助于获得低电阻、高附着力的薄膜,提升显示面板的响应速度、亮度均匀性和整体画质。
光伏行业
铜镍靶材可作为晶硅或薄膜太阳能电池的电极或阻挡层材料。通过溅射形成的金属层具有良好的导电和耐蚀性能,可显著提高电池的光电转换效率、稳定性和使用寿命。
光学器件制造
在光学元件制造中,铜镍靶材可用于镜片、滤光片等镀膜,膜层光学特性易于调控。通过精准控制膜厚与工艺参数,可实现特定波段的反射、透射或吸收,满足望远镜、显微镜、光通信等高端光学应用的要求。
技术特性

纯度
99.9%-99.99%

配比
可定制比例
应用场景
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