产品介绍
铟溅射靶材是一种以高纯度金属铟为原料制备的功能靶材,外观呈银灰色,具有良好的金属光泽。其物理参数包括:熔点为156.61℃,沸点为2060℃,密度为7.3 g/cm³。铟属典型的软质金属,机械强度低,易被指甲划伤,具备良好的可塑性和延展性,便于加工成各种形状的靶材。
铟靶材在真空薄膜技术中具有重要应用价值,尤其适用于电子器件、光伏组件、触控面板等领域的薄膜制备。其一大特性是对玻璃及类似基底具有良好的附着力,在蒸发或磁控溅射过程中,可形成均匀、致密的导电膜或功能膜层。纯铟常用于半导体工艺中的金属化过程,是制造透明导电膜、电极连接层等关键结构的重要材料之一。
铟靶材的优异特性
高纯度
可提供99.99%、99.999%(4N、5N)级别的铟靶材,确保膜层纯净、均匀。
优异延展性
铟靶材柔软,易加工,适用于异形靶、多种尺寸的镀膜设备
低熔点特性
适用于对温度敏感的基材,常用于低温沉积工艺。
优良的导电性
有助于提升薄膜导电性能,特别适用于透明导电膜制备。
铟靶材的广泛应用
半导体制造
在半导体芯片制造中,铝靶材用于沉积铝薄膜作为导电互联线,利用其优异的导电性实现电子信号的高效传输。在集成电路封装中,铝薄膜可作为引线框架的镀层,提高封装的可靠性。此外,在电子元件如电容器、电感器的制造中,铝靶材也发挥着重要作用,用于制备电极和导电层。
光伏行业
在太阳能电池制造中,铝靶材用于制备背场电极和栅线。铝背场电极能有效反射太阳光,提高太阳能电池的光吸收效率;铝栅线则负责收集产生的电流,提升电池的转换效率。采用铝靶材溅射形成的电极薄膜具有良好的导电性和附着力,能保障太阳能电池的长期稳定运行。
装饰与功能镀膜
在装饰领域,通过溅射铝靶材可在金属、塑料、玻璃等基材表面形成光亮的铝薄膜,具有良好的装饰效果,如高档家具、汽车零部件、建筑装饰材料等的镀膜。在功能镀膜方面,铝薄膜可用于制备反光膜、隔热膜等,如汽车玻璃的隔热膜,能有效反射红外线,降低车内温度;反光膜则广泛应用于交通标志、广告牌等,提高夜间的可见度。
显示面板
在 LCD、OLED 等平板显示面板制造中,铝靶材用于沉积铝薄膜作为电极和布线。铝薄膜具有良好的导电性和均匀性,能保障显示面板的高分辨率和快速响应速度,提升屏幕的显示效果。
技术特性

纯度
99.99%-99.999%

密度
7.3 g/cm³
应用场景
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