IGZO靶材，即氧化铟镓锌靶材，是一种多组分复合氧化物陶瓷靶材，由氧化铟（In₂O₃）、氧化镓（Ga₂O₃）、氧化锌（ZnO）按特定比例混合、烧结而成，广泛用于磁控溅射（PVD）工艺中，制备高性能IGZO薄膜晶体管（TFT）。

相比传统的非晶硅和氧化锌材料，IGZO具有更高的迁移率、更低的漏电流和更优的透明性，是下一代高分辨率显示面板（如OLED、4K、8K）的核心材料。

氧化铟镓锌(IGZO)的优异特性

• 高电子迁移率

  约为非晶硅的10倍，有效提升TFT响应速度。

• 低漏电流 & 低功耗

  适用于节能型显示设备和便携式电子产品。

• 优异的光学透明性

  透过率高，适用于高亮度显示应用。

• 低温成膜兼容性

  可在低温下沉积，适合柔性显示器

• 高稳定性与均匀性

  膜层致密、成分稳定，适应量产线需求
  

氧化铟镓锌(IGZO)的广泛应用

1. 显示面板

   IGZO是替代传统非晶硅和LTPS的优质TFT材料，广泛用于高分辨率显示设备，提高图像刷新率与响应速度，降低功耗，适用于大尺寸和高亮度显示。

2. 智能移动设备

   在智能手机、平板电脑等移动终端中，IGZO可显著优化显示性能与续航能力，支持轻薄设计、延长电池寿命、提升触控体验。

3. 柔性与可穿戴电子

   IGZO薄膜适用于低温成膜工艺，可沉积于塑料、PI等柔性基底上，广泛用于：柔性手机、电子书、电子纸，智能手表、智能眼镜等可穿戴终端，兼容柔性工艺，成膜均匀，性能稳定。

4. 新能源与低功耗电子器件

   IGZO的低漏电与高稳定性使其非常适合于工业场景中长期稳定运行的设备，适用于：节能笔记本、电子阅读器、智能家居控制屏、IoT终端、AR/VR头显设备，极低漏电流，延长设备待机时间，提升用户体验